Etsunarferli

1. grunnhreinsun

Ultrasonic hreinsun, sýru/basa lausnarmeðferð (svo sem RCA hreinsun), hreinsun í plasma og aðrar aðferðir eru notaðar til að fjarlægja yfirborðs mengunarefni (olía, agnir, oxíðlag).

2.. Ljósmyndunarhúð

Snúðu laginu til að mynda samræmt ljósritunarlag, forköst til að fjarlægja leysiefni og auka viðloðun.

3. Útsetning og þróun

Útsetning: Notkun grímu til að geislun með útfjólubláu ljósi, djúpu útfjólubláu ljósi eða öfgafullu útfjólubláu ljósi til að framkalla ljósmyndefnafræðilega viðbrögð í ljósmyndaranum.

Þróun: Leysið út svæði (jákvætt hlaup) eða óvarða svæði (neikvætt hlaup) með þróunarlausn til að afhjúpa svæðið sem á að eta.

4. etsing

Blaut etsing: sökkva undirlaginu í etslausn eða meðhöndla það með úða.

Þurrt etsing: Viðbragðsgas (svo sem Cl ₂, CF ₄) er kynnt í lofttæmishólf til að vekja plasma til ets.

5. Fjarlægðu ljósritunarstríði

Blaut gelatínun: Notaðu leysir eins og asetón, N-metýlpýrrólídón (NMP) eða sterk sýrur/oxunarefni (eins og H ₂ SO ₄+H ₂ O ₂).

Þurrt gelatínun: súrefnisplasmahöfun, skilvirk og leifalaus.

6. Eftirvinnsla og skoðun

Hreinsun: Fjarlægðu ætingar aukaafurðir og afgangs hvarfefni.

Greining: Greina formgerð þess, mæla stærð þess og framkvæma rafmagnsprófun með smásjárskönnun.