Tilvalin etsunarferli einkenni

Hin fullkomna ætingarferli ætti að hafa eftirfarandi lykileinkenni til að uppfylla kröfur um miklar nákvæmni í hálfleiðara framleiðslu og öðrum örnefningarsviðum:

① anisotropic etsing, sem þýðir aðeins lóðrétt etsing án hliðarborana . Aðeins með þessum hætti getum við tryggt nákvæma afritun rúmfræðilegra laga sem eru eins og þeir sem eru á viðnáminu á et -kvikmyndinni;
② Góð æting sértækni þýðir að ætingarhraði mótspyrna sem notaður er sem gríma og undirliggjandi þunnfilmu eða efni er mun lægra en á ætu þunnu filmu, til að tryggja skilvirkni viðnámsgrímu meðan á ætingarferlinu stendur og koma í veg fyrir skemmdir á öðrum efnum undir þunnu filmunni vegna ofgnóttar;
③ Stórar vinnslulotur, auðveld stjórn, lágmark kostnaður, lágmarks umhverfismengun, hentugur fyrir iðnaðarframleiðslu .